国产EUV光刻机真的要来了么?结合多方信息，现在我们可以做个大胆的推测，我们的国产EUV光刻机原型机，最快应该就会在今年下半年问世。
4月29号的时候，南华早报报道称，由阿斯麦前首席科学家林楠博士带领的团队，取得了对EUV光刻机技术的最新突破，由林楠团队研发的固体激光器，在电光转换效率方面，已经达到了国际顶尖水平，有望成为新一代激光等离子体极紫外光刻光源的驱动光源。
我去查了一下林楠博士的资料，真正的大牛。他曾在荷兰阿斯麦担任研究部研发科学家以及研究部量检测光源技术负责人，期间累计申请、授权国际专利110项，他的导师是2023年诺贝尔物理学奖获得者安妮·吕利耶。
2021年，林楠回到国内，在中科院任职，主攻极紫外光源、芯片量检测两大方向。
那么，这一次，林楠团队突破的固体激光器，又有什么价值呢?
首先，我们要知道，EUV光刻机的研制难度极大，目前全世界也只有荷兰阿斯麦一家公司能制造，而且阿斯麦的EUV光刻机，也是集合了整个西方工业之力，才取得的突破。
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