长江存储第四座工厂瞄准70%国产设备，谁有本事接下订单？

长江存储准备在武汉建第四座工厂了。

11月6日，路透社援引知情人士披露，长江存储计划2027年启动第四座晶圆厂建设，主要生产300层以上的NAND闪存。

新工厂还有一个目标：60%～70%的设备采购准备交给国内供应商。

据说长江存储第三座工厂的国产设备采购比例已经超过50%，第四座准备进一步提高到七成左右。

不过目前相关采购仍在初步洽谈阶段，这些规划也尚未获得长江存储官方确认。

以前我们经常听说国产半导体设备取得突破，现在真要建设一座300层以上NAND工厂，国产厂商已经有多少设备能够拿出来卖？

武汉市经信局此前披露，长江存储前三期项目累计投资超过2700亿元，第三期在2025年已经开工。第四座工厂的独立预算还没有公布，但这样的晶圆厂扩建，显然会给国内设备企业带来新的采购机会。

而且，300层以上NAND的制造难度，已经和十年前完全不同了。

重点看中微公司、北方华创和华海清科这三家国内头部设备企业，谁有本事接下这笔大订单？

l中微公司，开始挑战90:1的深孔

现在的3D NAND芯片，为了在有限面积里存放更多数据，需要把存储单元一层层往上堆。

到了300层以上，有一道很难的工序：在大量堆叠材料中，刻出又深又窄的垂直通道孔。

可以想象在一块很厚的千层糕上，用极细的钻头一直打到底，还要保证孔的位置准确、孔壁不能歪、底部尺寸也符合要求。

实际半导体制造使用等离子体刻蚀，随着堆叠层数增加，深孔的形貌、均匀性和缺陷控制都会变得更加困难。

中微公司2026年三季报披露，下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备，已经交付客户端验证。

90:1指的是刻蚀深度与开口宽度的比例。如果孔的宽度是1个单位，刻蚀深度就要达到90个单位，设备需要在这样的狭窄结构中完成加工。

中微还有另一款低温高深宽比ICP刻蚀设备Primo Nanova LUX-Cryo，已经在客户下一代产品产线上稳定量产。

90:1设备已经交付客户验证，正在接受实际工艺测试，LUX-Cryo则已有稳定量产应用，走得更远一步。

半导体设备进入客户生产线，需要经过验证、工艺适配和持续运行测试。尤其是先进存储产线，设备能否稳定控制刻蚀形貌和缺陷，直接影响芯片制造质量。

中微还没有公布上述设备的具体客户，也没有披露它们获得长江存储第四座工厂的订单。但在高深宽比刻蚀这个环节，国产厂商已经拿出了有实际客户验证和量产应用记录的产品。

北方华创，已经能同时卖好几类设备

北方华创的优势是产品种类更多。

它在官网列出了一款12英寸介质刻蚀机Accura NZ，典型应用包括3D NAND G5及以上技术的高深宽比通道孔刻蚀。

北方华创12英寸介质刻蚀设备Accura NZ

除了刻蚀，北方华创还布局了薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入等多个设备领域。

一座300层以上NAND工厂，要反复完成材料沉积、刻蚀、清洗和后续加工。每道工序都需要相应设备，有些环节还会反复进行很多次。

北方华创的产品线越宽，能参与竞争的设备采购环节就越多。

假设一家晶圆厂需要采购刻蚀、沉积和清洗设备，如果供应商能同时提供多个类别的产品，就有机会争取更多采购项目，还能在安装调试、工艺适配和维护方面建立长期合作。

当然，具体设备仍然需要满足客户的工艺要求，不能因为产品目录里有某一类设备，就直接认定它能用于长江存储第四座工厂。

但从企业经营角度看，北方华创已经具备了同时向晶圆厂销售多类设备的产品基础。相比只有一两款产品的供应商，这让它能够参与更多环节的采购竞争。https://wxa.wxs.qq.com/tmpl/qg/base_tmpl.html

华海清科，部分客户九成CMP设备从它这里买

华海清科卖的是CMP设备，也就是化学机械抛光设备。

华海清科CMP SYSTEM Universal-300 T化学机械抛光设备

晶圆经过多轮沉积和刻蚀，表面会出现细微的高低差，CMP负责把晶圆表面磨平，方便后续继续加工。先进存储芯片还涉及精密结构和键合工艺，对平整度的要求更高。

华海清科2026年的公开发行资料显示，公司CMP设备已经应用于逻辑芯片、3D NAND和DRAM等工艺平台，并在国内多家头部晶圆厂完成先进制程验证。

其中，国内部分头部晶圆厂的CMP设备采购中，华海清科的份额最高已经达到90%以上。

换句话说，在部分客户那里，每采购10台CMP设备，最多有9台来自华海清科。当然，这只是特定客户的CMP设备采购比例。

公司手里的订单也不少。

截至2026年6月底，华海清科半导体装备在手订单达到87.78亿元，2025年末为57.33亿元，半年增加了30.45亿元。

而且，CMP设备还有后续的耗材和服务生意。

设备运行时，抛光头、保持环等耗材需要定期更换，出了故障要维修，工艺升级也可能需要厂商配合。一家晶圆厂持续使用华海清科的设备，就会产生后续采购耗材和技术服务的需求。

70%的国产设备订单，谁能拿到？

长江存储第四座工厂的投资预算还没有公布，60%～70%的国产设备采购目标，也没有明确是按金额还是设备台数计算。

武汉官方此前披露的2700多亿元，是前三期项目的累计投资，其中还有厂房和其他设施投入，没法拿来推算第四座工厂能带来多少设备订单。

不过，国内设备厂商已经具备参与竞争的产品基础。

北方华创有多种设备可以进入采购范围，中微公司的先进刻蚀设备已经进入客户端验证，华海清科的CMP设备则在部分头部客户中取得了很高的采购份额。

长江存储把第四座工厂的国产设备目标提高到七成，国内厂商有了争取更多订单的机会。

至于谁能拿到多大份额，最终还要靠具体设备的采购合同。

长江存储准备在武汉建第四座工厂了。

11月6日，路透社援引知情人士披露，长江存储计划2027年启动第四座晶圆厂建设，主要生产300层以上的NAND闪存。

新工厂还有一个目标：60%～70%的设备采购准备交给国内供应商。

据说长江存储第三座工厂的国产设备采购比例已经超过50%，第四座准备进一步提高到七成左右。

不过目前相关采购仍在初步洽谈阶段，这些规划也尚未获得长江存储官方确认。

以前我们经常听说国产半导体设备取得突破，现在真要建设一座300层以上NAND工厂，国产厂商已经有多少设备能够拿出来卖？

武汉市经信局此前披露，长江存储前三期项目累计投资超过2700亿元，第三期在2025年已经开工。第四座工厂的独立预算还没有公布，但这样的晶圆厂扩建，显然会给国内设备企业带来新的采购机会。

而且，300层以上NAND的制造难度，已经和十年前完全不同了。

重点看中微公司、北方华创和华海清科这三家国内头部设备企业，谁有本事接下这笔大订单？

中微公司，开始挑战90:1的深孔

现在的3D NAND芯片，为了在有限面积里存放更多数据，需要把存储单元一层层往上堆。

到了300层以上，有一道很难的工序：在大量堆叠材料中，刻出又深又窄的垂直通道孔。

可以想象在一块很厚的千层糕上，用极细的钻头一直打到底，还要保证孔的位置准确、孔壁不能歪、底部尺寸也符合要求。

实际半导体制造使用等离子体刻蚀，随着堆叠层数增加，深孔的形貌、均匀性和缺陷控制都会变得更加困难。

中微公司2026年三季报披露，下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备，已经交付客户端验证。

90:1指的是刻蚀深度与开口宽度的比例。如果孔的宽度是1个单位，刻蚀深度就要达到90个单位，设备需要在这样的狭窄结构中完成加工。

中微还有另一款低温高深宽比ICP刻蚀设备Primo Nanova LUX-Cryo，已经在客户下一代产品产线上稳定量产。

90:1设备已经交付客户验证，正在接受实际工艺测试，LUX-Cryo则已有稳定量产应用，走得更远一步。

半导体设备进入客户生产线，需要经过验证、工艺适配和持续运行测试。尤其是先进存储产线，设备能否稳定控制刻蚀形貌和缺陷，直接影响芯片制造质量。

中微还没有公布上述设备的具体客户，也没有披露它们获得长江存储第四座工厂的订单。但在高深宽比刻蚀这个环节，国产厂商已经拿出了有实际客户验证和量产应用记录的产品。

北方华创，已经能同时卖好几类设备

北方华创的优势是产品种类更多。

它在官网列出了一款12英寸介质刻蚀机Accura NZ，典型应用包括3D NAND G5及以上技术的高深宽比通道孔刻蚀。

北方华创12英寸介质刻蚀设备Accura NZ

除了刻蚀，北方华创还布局了薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入等多个设备领域。

一座300层以上NAND工厂，要反复完成材料沉积、刻蚀、清洗和后续加工。每道工序都需要相应设备，有些环节还会反复进行很多次。

北方华创的产品线越宽，能参与竞争的设备采购环节就越多。

假设一家晶圆厂需要采购刻蚀、沉积和清洗设备，如果供应商能同时提供多个类别的产品，就有机会争取更多采购项目，还能在安装调试、工艺适配和维护方面建立长期合作。

当然，具体设备仍然需要满足客户的工艺要求，不能因为产品目录里有某一类设备，就直接认定它能用于长江存储第四座工厂。

但从企业经营角度看，北方华创已经具备了同时向晶圆厂销售多类设备的产品基础。相比只有一两款产品的供应商，这让它能够参与更多环节的采购竞争。

华海清科，部分客户九成CMP设备从它这里买

华海清科卖的是CMP设备，也就是化学机械抛光设备。

华海清科CMP SYSTEM Universal-300 T化学机械抛光设备

晶圆经过多轮沉积和刻蚀，表面会出现细微的高低差，CMP负责把晶圆表面磨平，方便后续继续加工。先进存储芯片还涉及精密结构和键合工艺，对平整度的要求更高。

华海清科2026年的公开发行资料显示，公司CMP设备已经应用于逻辑芯片、3D NAND和DRAM等工艺平台，并在国内多家头部晶圆厂完成先进制程验证。

其中，国内部分头部晶圆厂的CMP设备采购中，华海清科的份额最高已经达到90%以上。

换句话说，在部分客户那里，每采购10台CMP设备，最多有9台来自华海清科。当然，这只是特定客户的CMP设备采购比例。

公司手里的订单也不少。

截至2026年6月底，华海清科半导体装备在手订单达到87.78亿元，2025年末为57.33亿元，半年增加了30.45亿元。

而且，CMP设备还有后续的耗材和服务生意。

设备运行时，抛光头、保持环等耗材需要定期更换，出了故障要维修，工艺升级也可能需要厂商配合。一家晶圆厂持续使用华海清科的设备，就会产生后续采购耗材和技术服务的需求。

70%的国产设备订单，谁能拿到？

长江存储第四座工厂的投资预算还没有公布，60%～70%的国产设备采购目标，也没有明确是按金额还是设备台数计算。

武汉官方此前披露的2700多亿元，是前三期项目的累计投资，其中还有厂房和其他设施投入，没法拿来推算第四座工厂能带来多少设备订单。

不过，国内设备厂商已经具备参与竞争的产品基础。

北方华创有多种设备可以进入采购范围，中微公司的先进刻蚀设备已经进入客户端验证，华海清科的CMP设备则在部分头部客户中取得了很高的采购份额。

长江存储把第四座工厂的国产设备目标提高到七成，国内厂商有了争取更多订单的机会。

至于谁能拿到多大份额，最终还要靠具体设备的采购合同。