俄罗斯间谍渗透ASML全过程曝光

去年年底爆出俄罗斯间谍工程师剽窃ASML机密数据被抓的消息。近日，荷兰媒体详细批露了该工程师间谍行为的详细过程。

据荷兰《新鹿特丹商业报》（NRC）4月1日报道，43 岁的俄罗斯工程师German ・A被指控秘密向俄罗斯提供来自ASML、恩智浦（NXP）和台积电（TSMC）的敏感技术信息，据称是为了协助在俄罗斯建造一座具备 28 纳米制程能力的晶圆厂。他的非法所得约为 4万欧元，目前面临 18 至 32 个月的监禁。虽然German ・A 一人无法窃取半导体的完整设计方案，但一个相互配合的团体有可能助力俄罗斯的半导体生产。根据指控，他偷窃了ASML 105份内部文件、台积电88份内部文件，涉及半导体生产、各种芯片制造设备的信息。文件中并没有设计和建造晶圆厂的完整蓝图，后者更高级的技术，但仍被视为机密，足以支撑建立完整的28nm级工艺生产线，军用等领域足够了。调查称，German A.通过网盘、社交应用、U盘等将信息传到了莫斯科，并从中赚取了4万欧元。

他还被指试图窃取化学气相沉积工具，并运到了以色列，但最终没有流入俄罗斯。2024年8月，German A.被美国CIA逮捕，而在一个月后，ASML、NXP相继公通报了遭间谍入侵。西方媒体称，German A.一个人不可能窃取建造28nm晶圆厂的所有信息，但众多类似的间谍一起行动，足以完成这种任务。据悉，German A.在半导体领域从业多年，2008-2009年曾在比利时微电子研究中心(IMEC)实习，之后加入希腊研究机构NCSR，后在GlobalFoundries位于德国德累斯顿的Fab 1工厂工作。2015年，他又跳槽荷兰创业企业Mapper，后者开发出一种无掩膜光刻机，还在俄罗斯建立了一个小型工厂，生产MEMS微控制器芯片。Mapper 2018年破产，ASML在美国、荷兰的压力下将其收购，以保护技术不外泄，Garman A.等一百多名工程师随之加盟ASML，负责光电芯片制造，还参与发明了4项专利.据称，他在2020年12月访问了与其工作无关的两份加密文件，但未触发公司内部安全系统警告。2021年，ASML将其工作外包，他也就离开了ASML。2022年1月，他加入了NXP，在荷兰奈梅亨负责一份临时合同，并于5月从当地一家公司要到了一台化学气相沉淀设备。按照指控，2023年底，有俄罗斯研究员找上他，寻求28nm晶圆厂的建设资料。