很多人可能还不知道,在半导体领域,溅射靶材同样是一种必不可少的核心材料。

靶材,作为溅射工艺中的关键材料,其作用,就是通过高能离子轰击,将靶材原子或者分子剥离并转移到衬底表面,从而形成特定功能的薄膜。
这其中,靶材材料的纯度以及成分将直接影响薄膜的导电性、光学特性以及化学稳定性。
靶材无论是在光伏太阳能板、新能源领域、磁性材料和光学器件都是不可缺少的,各个领域所需要的靶材材料以及纯度要求各不相同。
而半导体对其靶材材料要求却格外的严格,需要达到5N(99.999%)甚或更高的纯度级别,避免因杂质造成器件失效,其核心材料主要包含了铝、钛、钨等材料。

而我们国家之所以能够在靶材领域成绩斐然,一方面与最近我们国家在新能源汽车领域、太阳能光伏板领域庞大的市场需求有着脱不开的关系,而另一方面,与我们国家在稀土提纯技术方面也有着十分微妙的联系。
这其中,有一家国产企业就不得不被提及,江丰电子(需备注,这里可真不是给江丰电子打广告,说实话其发展到如今规模,已经不需要我这小卡拉米来打广告了)。

全球角度,江丰电子已经占据了全球半导体靶材近12%~18.6%的市场份额,稳居全球第二(第一是谁目前不清楚,可能是日矿金属),而在国内市场中,12英寸的晶圆厂靶材市场当中,江丰电子更是占据了73%的市场份额,稳居全国第一。
这其中,江丰电子的铜锰合金靶材和钨靶已经批量供货给台积电,进入到台积电的采购清单当中。
前面我们已经提到,在半导体靶材供应上,其靶材的纯度需要达到5N级别,而江丰电子则是目前唯一具备量产6N(99.9999%)超高纯铜靶材,杂质控制达十亿分之一。

在钛靶技术方面,江丰电子更是达到了7N级别。
并且,其300mm的铜锰合金靶材高致密钨靶都已经具备了生产3nm的芯片生产工艺,开放式射线源瞄准5nm以下逻辑芯片。
也就是说,我们国家在3nm及以下芯片制程方面,靶材材料也获得了一项关键突破,至少在这一方面,我们国家已经能够完全实现自给自足,再也不用担心被其他国家卡脖子了。
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