项立刚：光刻机霸权将成过去式，中国入场，下一步将颠覆市场！

2026年4月15日，ASML发布财报，其中有个数据很引人注意，中国大陆市场的收入比例只有19%，比高峰期下降近一半，韩国市场却增加到45%，这不是因为中国买得少了，而是他们把订单转到了其他地方。业内分析认为ASML对中国市场依存度高，出口管制可能会适得其反，将来可能反而要反过来购买中国的技术，这个说法现在又被大家重新提起。

新凯来这家公司在2021年成立，它的前身是华为2012实验室的星光工程部，现在由深圳国资委负责管理，到2025年3月，他们在SEMICON China展会上一次展示了31台设备，这些设备都用了“武夷山”“峨眉山”这样的名字，不是摆拍的模型，而是已经能够下线量产的真实产品，覆盖了刻蚀、镀膜、量测这些环节，项立刚说过一句话很实在，光刻机是用来用的，不是用来展出的，中国没有死磕光刻机本身，而是先把配套的生态搭建起来。

另一方面，国产EUV的研发工作仍在持续推进，新凯来公司正在开发LDP光源的EUV系统，同时上海微电子也保持活跃，于2025年5月交付了首台28nm浸没式光刻机，中芯国际和华虹已经将其引入产线使用，同年9月在工博会上，该公司公开展示了EUV的参数图表，并提交了大量专利申请，预计在2026年开始小批量供货。

在光源领域，中科院研制出全固态深紫外激光光源，它不依赖稀有气体，采用国产晶体放大器，福建的硼酸锂产量占全球首位，同时哈工大实现了自由电子激光的突破，清华的稳态微聚束技术达到世界领先水平，这三条技术路线齐头并进，即便某条路径受阻，整体发展也不会受影响，这是在做多手准备，而不是孤注一掷。

整条产业链都在动，从北方华创、中微公司到拓荆科技、科益虹源、华卓精科、国望光学，二十多家企业一起推进，覆盖材料、运动平台、光学镜头到整机设备，基本形成全链条布局，2021年启动，到2025年就能实现量产，三年时间搭建起完整体系，在2025年10月深圳半导体展上，市发改委主任郭子平提到，新凯来旗下的子公司会带来惊喜。

美国那边也一直有动作，2026年4月2日推出MATCH法案，打算把浸润式DUV设备连同维护服务都管起来，但有意思的是，每次制裁收紧一点，中国的国产化比例就往上走一些，2024年中国芯片进口花了3856亿美元，这么大规模的市场，哪家企业能先做出可用的设备，就能抓住机会站稳，就像液晶屏、电动车和5G基站走过的路一样，开始贵后来便宜，最后变成白菜价。

过去有人开玩笑说，就算把图纸给中国，他们也造不出光刻机，现在那些设备已经真的摆在了生产线上，这样的话再也没人提了，ASML公司也左右为难，按规矩办事吧，会丢掉中国市场，通融一下呢，又担心被美国盯上，中国现在并不急着追赶谁，而是自己在建立一套能运转起来的系统，哪怕精度稍微差一点，只要能用、能维修、能替换，就能支撑住生产线，这件事慢慢来，反而走得更稳。