光刻机出货量暴涨100%，国产替代进入加速期

上海微电子在长三角半导体产业峰会宣布，SSA800系列28nm浸没式DUV光刻机已交付中芯国际，进入批量量产状态，产线良率超90%，单次曝光分辨率达28nm，国产化率突破85%，年内启动首批次商业化交付，2026年中国光刻机28nm机型出货达50台，涨幅100%，ASML市场份额下滑。

SEMICON China 2026展会上，深圳市国资委全资控股的新凯来公司首次公开亮相，一口气发布31款半导体设备，设备命名采用中国名山（武夷山、峨眉山、昆仑山等），覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心环节，国家队入场，国产设备体系化突破。

2026年4月3日，美国参众两院推出MATCH法案，将禁售范围从EUV扩大到所有型号浸没式DUV光刻机，明确将中芯国际、华虹、长存、长鑫等列入限制名单，倒逼国产替代加速。

本期对光刻机产业链进行梳理，筛选出最具核心价值的八家企业，以供研究和跟踪参考。

8. 蓝英装备
通过瑞士子公司UCMAG切入ASML供应链，提供EUV/晶圆清洗设备，同时布局国产光刻机配套清洗方案，双向布局优势显著。

7. 华特气体
国内唯一通过国际龙头认证的电子特气供应商，高纯氪气、氖气覆盖28nm及以下先进制程，国产替代率超40%，为光刻过程提供洁净动力。

6. 茂莱光学
上海微电子核心光学部件供应商，主导物镜系统中的透镜、棱镜研发生产，单台设备配套价值超5000万元，是DUV光学领域国产替代核心力量。

5. 富创精密
获得ASML认证的反应腔精密金属件供应商，在真空腔体领域技术领先，是全球光刻机精密结构件核心玩家，国产化率持续提升。

4. 中微公司
5nm刻蚀技术获台积电订单，国产半导体设备首次进入台积电5nm先进制程供应链，技术可迁移至光刻机相关环节，获国家大基金重点注资。

3. 北方华创
半导体设备”国家队”，覆盖刻蚀、薄膜沉积等多环节，14nm设备已量产，7nm设备良率持续提升，客户覆盖国内所有主流晶圆厂。

2. 张江高科
通过子公司深度持有上海微电子10.779%股权，是光刻机商业化落地的最直接受益方，同时依托张江科学城构筑”设备+制造+生态”的全链布局。

1. 上海微电子
国内唯一研发、生产及销售高端光刻机的企业，28nm浸没式DUV光刻机已量产，良率超90%，国产化率突破85%，技术+市场双领先，国产光刻机绝对龙头。

光刻机产业链一览表