造一颗芯片,从光刻到刻蚀到镀膜,中间有七十多道工序,这1年多来的半导体热潮,几乎把其中的每道工序都轮了一遍。不过,在这其中,还有一个贯穿其中的工序很多人都没注意到:冲洗。

每一道工序做完,都需要用超纯水把晶圆冲洗一遍。一颗芯片从砂子到成品,总共要洗五十次以上。洗芯片用的水不是普通水,自来水不行,纯净水也不行,必须是电阻率达到18.2兆欧的超纯水。这个数字什么概念,比你家里喝的纯净水干净三百六十倍。
只要水里有一粒灰尘大小的杂质,这片晶圆就废了,损失两千美元起步。一条12英寸晶圆厂的超纯水站,投资额从八千万到一亿五千万不等。没有超纯水,整条产线直接停摆。
但超纯水本身还不是最卡脖子的地方。真正的瓶颈在上游材料,尤其是最后一道工序用的抛光树脂。这块市场过去被杜邦、朗盛和三菱化学三家海外巨头垄断了全球八成以上的份额,中国企业想用只能花高价进口,而且有配额限制,加价都未必买得到。
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