Hello，小伙伴们，大家好，欢迎来到——深度追光。今天，咱们继续聊光刻机。在前面关于光刻机介绍的文章中，我们聊到了国产光刻机和ASML光刻机技术路线不同，发展代际不同，导致用的镜片方案也不同。除了大家平时听到的呼声很高的，名气最大的，最顶级的EUV极紫外光刻机之外，还有很多其他型号的光刻机，比如DUV。你知道DUV是什么吗？——深紫外，就是紫外波长比EUV极紫外要长一点点的。一提到深紫外光刻机里面的镜片，就不可避免的要提到氟化钙晶体了。其中，氟化钙有两个特点令人印象深刻：很脆，不好加工；硬度低，容易划伤，严禁触摸。被我们称之为刁蛮公主。之前，我们也专门写文章聊过氟化钙，你还记得不：又爱又恨的特种光学材料——刁蛮公主氟化钙那么，至于为什么DUV光刻机核心镜片必须依赖于脆弱的氟化钙这个材料，故事还得从氟化钙晶体其独特的光学特性说起。
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